深圳清华大学研究院超滑技术研究所（简称“超滑所”）成立于2019年，由深圳市政府、深圳市坪山区政府和深圳清华大学研究院共同支持建立，是中国科学院院士、固体力学与微纳米力学专家、清华大学深圳国际研究生院教授郑泉水领衔创建的全球首个结构超滑研究机构，专注结构超滑技术的基础研究、应用研究以及结构超滑衍生技术集群的开发研究。

结构超滑的微机电系统（MEMS）、微发电机、电接触关键元器件、光学平台、微纳传感器、下一代存储技术

电力、医疗、工业、能源、通信、智能硬件、物联网等